孙宝有扫描电镜制样步骤

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扫描电镜制样步骤

扫描电镜(Scanning Electron Microscopy,简称SEM)是一种广泛用于的材料制备和分析技术。通过SEM技术,可以将材料样品制成薄膜或薄片,并使用扫描电极扫描样品表面,从而获得高分辨率、高对比度的图像。以下是一般的扫描电镜制样步骤:

1. 样品准备

将待测材料样品用适当的方法取出并放置在SEM试验台上。对于不同的样品,可能需要使用不同的取样工具和样品制备方法。例如,对于金属样品,可以使用真空镀样、化学镀样或电子束光刻技术制备样品。对于半导体和陶瓷样品,可以使用氧化、腐蚀或化学气相沉积技术制备样品。

2. 样品固定

将样品放置在SEM试验台上,并使用夹具将其固定在SEM扫描电极和样品台上。在固定过程中,需要小心避免样品移动或形变。

3. 扫描电极准备

将扫描电极插入SEM扫描枪中,并将其放置在样品表面上。扫描电极通常由两个电极组成,一个阳极和一个阴极。阳极用于发射电子,阴极用于接收电子。在SEM扫描过程中,阳极会发射电子,这些电子经过样品,被阴极接收,并形成一个电流。这个电流被用于控制SEM扫描枪的扫描速度。

4. 扫描

将扫描电极放置在样品表面上,并使用SEM扫描枪进行扫描。在扫描过程中,需要使用扫描仪控制扫描枪的位置和扫描速度。通过调整扫描仪的控制,可以获得不同深度的图像。

5. 样品洗涤

在扫描结束后,需要将样品洗涤以去除附着在样品表面的扫描电极和SEM试剂。洗涤过程可以使用适当的溶剂和洗涤剂完成。

6. 样品干燥

将洗涤后的样品放置在SEM试验台上,并使用真空干燥箱将其干燥。

7. 样品制备

根据实验要求,将待测材料样品制成薄膜或薄片。

8. 样品观察

使用扫描电镜观察制样后的样品。通过调整扫描仪的控制,可以获得不同深度的图像。使用SEM软件可以对扫描图像进行处理,以获得更清晰的图像。

以上是一般的扫描电镜制样步骤。具体步骤可能会因材料类型和实验要求而有所不同。